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解決方案

精密測(cè)量

波長(zhǎng)覆蓋范圍 177 - 5000nm
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精密測(cè)量

         窄線寬的激光器在精密測(cè)距,面型檢測(cè)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用,頻準(zhǔn)激光推出的穩(wěn)頻激光器和掃頻激光器可以應(yīng)用于這些高精度光學(xué)檢測(cè)的場(chǎng)景。

         基于邁克爾遜干涉儀或馬赫曾德干涉儀,可以利用窄線寬的穩(wěn)頻激光器對(duì)位移進(jìn)行高精度納米級(jí)的測(cè)量。通過測(cè)量干涉信號(hào)即可測(cè)量高精度的位移變化。要實(shí)現(xiàn)nm級(jí)的高精度測(cè)量,需要激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定。基于飽和吸收穩(wěn)頻/調(diào)制轉(zhuǎn)移穩(wěn)頻,頻準(zhǔn)激光推出了穩(wěn)頻式的窄線寬激光器,可以實(shí)現(xiàn)<10?¹¹的頻率穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。該激光器的無跳模特性也非常適用于工業(yè)化的長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)測(cè)量。通過將激光器的頻率鎖定到原子分子等的吸收譜線,激光頻率的長(zhǎng)期穩(wěn)定輸出,可用于精密干涉測(cè)距。

         基于類似的原理,或斐索干涉儀,窄線寬的激光器也可以用于精密光學(xué)元件的高精度面型檢測(cè)。通常來說需要通過移動(dòng)光學(xué)元件或掃描激光波長(zhǎng)的方式實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。掃描激光波長(zhǎng)的方式,可以實(shí)現(xiàn)無機(jī)械運(yùn)動(dòng)的檢測(cè),實(shí)現(xiàn)更高的精度和穩(wěn)定性,因此掃描激光波長(zhǎng)式的干涉儀逐漸成為主流。這需要實(shí)現(xiàn)窄線寬激光輸出的同時(shí),實(shí)現(xiàn)超大范圍的線性掃描。頻準(zhǔn)激光推出的高精度掃頻激光器,可以在多個(gè)波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)200-300GHz的連續(xù)線性掃描,且掃描過程中無跳模,為高精度面型檢測(cè)提供優(yōu)質(zhì)的光源。頻準(zhǔn)激光的掃頻激光器可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)波長(zhǎng)的連續(xù)無跳模掃描,掃描范圍大,精度高,線性度高,可以應(yīng)用于光學(xué)精密測(cè)量,面型測(cè)量等領(lǐng)域。

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