P R O D U C T S
313nm激光器
基于單頻種子激光器、光纖激光放大以及高效率的頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)，頻準激光可以提供窄線寬的313-325nm激光器，最大輸出為2W，同時具有高頻率穩(wěn)定度，長壽命以及優(yōu)異的光束質(zhì)量。
特點
- 窄線寬
- 高功率
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量
- 永不跳模
應用
- 精密測量
- 晶圓量測
- 干涉曝光
主要參數(shù)
|
參數(shù)
|
|||
|
型號
|
FL-SF-X-Y-CW
|
||
|
中心波長
|
313nm-325nm中心波長可定制
|
||
|
線寬(100 us 積分時間)
|
<40kHz
|
||
|
工作模式
|
連續(xù)激光輸出
|
||
|
輸出功率
|
>300mW
|
>1W
|
>2W
|
|
光斑直徑
|
1±0.15 mm
|
||
|
光斑束腰位置（相對輸出窗口）
|
輸出窗口±0.5m內(nèi)
|
||
|
發(fā)散角 (全角)
|
<0.6mrad
|
||
|
橢圓度
|
>90%
|
||
|
指向穩(wěn)定性 (峰峰值)
|
<50μrad@3h
|
||
|
光束質(zhì)量
|
TEM00，M²<1.2
|
||
|
偏振
|
線偏振, 豎直±3°, >20dB
|
||
|
功率穩(wěn)定性
|
<0.75% @3hours, RMS
|
||
|
相對強度噪聲
|
<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 積分)
|
||
|
冷卻方式
|
水冷
|
||
|
預熱時間
|
|||
|---|---|---|---|
|
冷啟動
|
<2 小時
|
||
|
熱啟動
|
<15 分鐘
|
||
|
尺寸和重量
|
|||
|
激光控制器尺寸
|
≤483mm x 520mm x 132mm
|
||
|
激光頭尺寸
|
≤390mm x 310mm x 130mm
|
||
|
水冷機尺寸
|
≤58cm x 29cm x 52cm
|
||
|
激光頭重量
|
≤18kg
|
||
|
激光控制器重量
|
≤20kg
|
||
|
水冷機重量
|
≤25kg
|
||
|
激光頭和控制器之間的線纜長度
|
不可拆卸光纖長度>1.5m
|
||
|
使用環(huán)境和供電功耗
|
|||
|
工作溫度（無凝露條件下）
|
15-35 ℃（水冷）
|
||
|
供電
|
100V-240V, AC, 50/60Hz
|
||
|
功耗
|
<170W
|
<200W
|
<240W
|
|
通信
|
RS422
|
||
更高功率，更多波長，可定制方案
