P R O D U C T S
300-305nm激光器
基于高功率、低噪聲光纖放大以及和頻與倍頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)在300-305nm范圍內(nèi)任意一個(gè)中心波長(zhǎng)的高功率窄線寬激光輸出。
特點(diǎn)
- 窄線寬：<40kHz
- 低強(qiáng)度噪聲
- 高功率
- 主動(dòng)功率穩(wěn)定：<0.75% rms，3hrs
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量（M2 <1.3）
- 永不跳模
- 耐高低溫、震動(dòng)的工作環(huán)境
應(yīng)用
- 干涉曝光
- 晶圓量測(cè)
- 精密測(cè)量
主要參數(shù)
|
光學(xué)參數(shù) |
||||||
|
型號(hào) |
FL-SF-XX-YY（1）-CW |
|||||
|
常用中心波長(zhǎng) |
302nm |
|||||
|
輸出功率 |
0.1W |
0.5W |
1W |
2W |
4W(即將推出） |
|
|
線寬（2）（100us積分時(shí)間） |
＜60kHz |
|||||
|
監(jiān)控光輸出功率@604nm |
>5mW |
|||||
|
調(diào)諧范圍（連續(xù)無跳模） |
>300GHz |
|||||
|
PZT調(diào)諧范圍 |
>6GHz |
|||||
|
PZT調(diào)諧帶寬 |
>5kHz |
|||||
|
電流調(diào)諧范圍 |
>1GHz |
|||||
|
電流調(diào)諧帶寬 |
>1MHz |
|||||
|
功率穩(wěn)定性（3 小時(shí) RMS） |
＜1% |
|||||
|
輸出模式 |
空間準(zhǔn)直輸出,直徑0.8mm-1.2mm |
|||||
|
偏振消光比 |
＞20dB，線偏振 |
|||||
|
光束質(zhì)量 |
TEM00，M²＜1.3 |
|||||
|
冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
水冷 |
||||
(1)XX：激光波長(zhǎng)，XX：激光功率，單位W，例如輸出功率1W的302nm激光器： FL-SF-302-1-CW,
(2)光纖延遲自外差拍頻法測(cè)量
|
選件 |
|
|
寬調(diào)諧選件 |
通過更換寬調(diào)諧的種子激光器，實(shí)現(xiàn)±0.5nm@302nm寬調(diào)諧 |
|
其他參數(shù) |
||
|
冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
水冷 |
|
工作溫度 |
15-30℃（無凝露條件下） |
15-35℃（無凝露條件下） |
|
供電 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
|
更高功率，更多波長(zhǎng)，可定制方案
